标准厚度片是国家标准规定的工业量具，主要用于低压流体输送用镀锌焊接钢管、热轧钢板等材料的厚度规格界定。其技术参数依据GB/T 3091-1993和GB709-88标准，涵盖DN15-DN200钢管的2.75-6.0mm厚度范围，以及热轧钢板0.35-200mm的尺寸精度要求；该量具按轧制精度分为较高精度和普通精度，并规定外形不平度、镰刀弯等参数指标，屈服点超过460N/mm²的板材需执行更严格公差；采用非接触的测量方式，测量精准，可快速测试。采用白光光源，上下双探头设计，测试时样片放置在上下两个探头的中间位置，一次测试可以快速地提供样片厚度及几何参数相关的所有信息：厚度，TTV,Bow,Warp,TIR,LTV等，同时该设备也可搭载红外干涉的探头。
标准规定了两种测量方式：
分立点式测量：在硅片中心点与距边角6mm圆周对称的四个点进行数据采集，计算五个测量值的算术平均值
扫描式测量：通过基准环支承硅片，探头沿径向路径连续扫描获取数据，计算总厚度变化值
两种方法均需使用接触式测厚仪或非接触式测量仪，仪器探头测量精度需≤1μm，基准环采用碳化钨等硬质材料制成
