金刚石厚度测试的方法主要包括以下几种：
X射线检测：将样品放置在X射线检测机的样品室载物台上，曲面朝上，用美工胶纸固定。调整工作电压至90KV，工作电流100μA，选择合适的放大倍数拍照、测量并保存数据。X射线检测可以清晰地显示金刚石复合片的边界和各层厚度1。
超声检测：使用水浸超声扫描显微镜设备进行检测。将金刚石复合片放入设备探头正下方，校准探头及工件参数，进行超声检测。超声C扫描呈像可以清晰地显示金刚石复合片的厚度和内部缺陷情况，如裂痕和空洞等2。
三维工业CT/X-RAY：通过三维工业CT或X射线扫描设备，可以提供高精度的内部缺陷检测。这种方法适用于芯片和电子器件的内部缺陷检测，能够精准定位内部问题
