高精度RS9000系列

RS9000是Colibrys 新型的开环MEMS电容式加速度传感器。这款产品实现了在严酷环境下高等级惯性和高稳定性等测量方面的重大突破。 新型的RS9010.B是基于新MEMS单元，采用Colibrys 新技术实现的加速度传感器。该产品是专门为实现高稳定的零偏和比例因子而设计的，同时改善了振动整流性能，并增强了温度特性。RS9000外接开环电子线路，适用于长期稳定性。该集成电路提供与加速度成比例的输出电压，同时提供与温度成比例的输出，以进一步实现系统级的温度补偿。新型的RS9000外型与之前的MS9000兼容，但要求外加高精密匹配电阻，以确保外部参考电压（VAGND）的**和稳定。RS9010.B 单电源电压供电（+2.5V至+5.5V），低功耗（< 0.5mA @ 5V）,在+5V电源电压条件下，对全量程的加速度范围，比率输出的模拟电压介于+0.5 V至+4.5 V之间。 该传感器采用完全自备式LCC 20陶瓷封装，因此保证了产品的全密闭性。加速度传感器的初步规格除非另有说明，所有数值特定为温度范围从-55°C (-67°F)至+95°C (203°F)之间、5 伏直流电源电压条件UnitsRS9002.B全量程范围g± 2零位校准 @ 20ºCmg< 10零位温度系数 @ 20ºCµg/°C (max)± 200一年期复合重复性 [1]µg  (1σ)< 500使用状态零位稳定性（48 小时)@ 20ºCµg (max)< 100比例因子校准@ 20ºCmV/g1000 ± 8比例因子温度系数@ 20°Cppm/°C (max)75 ± 100ppm (1σ)< 300输入轴偏心度(Kp, Ko)µrad< 10’000µrad (max)< 1000非线性度% of FS (max)< 0.8%振动整流误差@ 20°Cµg/g2 rms (1σ )< 800 [60-2000Hz]带宽@ 20ºC  [2]Hz> 200频带噪声谱密度@ 20ºCmg/ÖHz (max)30[1] 根据 IEEE 528-2001 标准定义，一年期复合重复性代表残差稳定性，所指环境条件为：turn on / on，存储温度范围 -55°C 至 85°C，在 -40°C 至 125°C 之间温度循环，振动、冲击（6000g, 0.2 毫秒任意方向单一冲击 ）。[2] 带宽定义为灵敏度降至 3dB 以下的信号频带宽度。