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硅片切片后清洗设备
硅片切片后清洗设备
发布日期 :2010-04-30 08:48
编号:385041
发布IP:121.227.133.93
供货厂家
苏州华林科纳半导体设备技术有限公司
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徐竹林(先生)
电话
0512-62872541
手机
18915583058
询价邮件
hlcas156@163.com
区域
苏州工业机械维修
地址
苏州园区独墅湖高教区若水路398号
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详细介绍
手机版链接:
https://m.trustexporter.com/cz385041.htm
硅片切片后清洗设备品牌:华林科纳-CSE
1.设备由五大部分组成:清洗槽部分、伺服系统及机械臂部分、层流净化系统、电气控制系统、机架及整机。2.清洗槽部分由有机溶剂槽、去离子水槽、酸槽或碱槽等组成。3.关键件采用进口件,包括气动阀,PFA管道、全氟循环系统,保证工作介质(酸、碱)的洁净度,避免杂质析出。4.工艺过程全自动,机械手在槽间的转换由两套伺服系统控制,可存储多条工艺时序,方便使用。
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