电子束表面改性处理设备的主要组成部分

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电子束表面改性处理的设备主要由电子枪系统系统和传动系统所组成。
1)电子枪系统。电子枪是电子束表面处理的真空系统、控制系统、电源加热源。常用的是阴极电子枪，由发射阴极、控制栅极和加速阳极组成。从阴极发射的电子经加速后获得足够大的动能，在阳极孔附近形成直径为50 μm左右的第一交叉点，即电子源。电子枪的亮度与电子流密度、加速电压成正比，与阴极热力学温度成反比。
2)真空系统。为避免发射阴极高温氧化，减少对工件表面产生的金属蒸气污染，需在高真空条件下才能保证电子的高速运动及电子束改性的工艺要求。
3)控制系统。由聚焦、加速、偏转．对准装置组成。
①聚焦装置。聚焦的目的是提高能量密度，而聚焦大小取决于表面改性的工艺要求。通常采用电磁透镜通过磁场聚焦。为了消除像差，获得更细的焦点，通常进行二次聚焦。
②加速装置。加速的目的是使电子流获得更高的速度，一般在阳极或上件上施加(5-15)×104V的正高压（或阴极上施加负高压）。
③偏转装置。用磁偏转（或静电偏转）以改变电子束的运行方向，控制x、y两个方向上的焦点位置。
④对准装置。通过莫尔干涉条纹探测器实现电子束对准。
4)电源系统。电源系统是电子束表面处理系统的动力来源。为了保证电子束聚焦和阴极发射的稳定，要求电源电压波动小于1%，故需用稳压装置。
电子束表面改性的工艺方法与激光束的类似，包括电子束表面相变硬化、电子束表面熔凝、电子束表面非晶化、电子束表面合金化和电子束表面熔覆等。
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