“方阻霍尔迁移率”这一表述通常指的是在半导体材料电学特性测量中,同时或关联地获取方块电阻(方阻)和霍尔迁移率这两个关键参数。它们是表征材料导电性能的核心指标,常通过霍尔效应测量技术联合获得。
方块电阻(方阻):是衡量薄膜材料电阻特性的量,单位为欧姆每平方(Ω/sq)。它描述了材料对电流流动的阻碍程度,与材料的几何形状无关,仅取决于材料本身的电阻率和厚度。在透明导电膜、半导体器件等领域至关重要。12
霍尔迁移率:是载流子(电子或空穴)在材料中运动能力的度量,定义为霍尔系数(RH)与电导率(σ)的乘积(μH = |RH|σ),单位为 cm²/V·s。它反映了载流子在电场作用下的平均漂移速度,是评估半导体材料质量(如杂质、缺陷散射影响)的关键参数。34
核心关联与测量方法方阻和霍尔迁移率并非直接等同,但它们通过霍尔效应测量紧密关联:
霍尔效应测量:是获取这两个参数的标准方法。将样品置于磁场中,通以电流,测量垂直于电流和磁场方向的霍尔电压。
参数计算:
通过霍尔电压、电流和磁场强度,可以计算出霍尔系数(RH)。
通过四探针法等测量样品的方阻(Rs)。
利用公式 电导率 σ = 1 / (Rs * t)(其中 t 为材料厚度),可以将方阻转换为电导率。
最终,霍尔迁移率(μH) 可通过公式 μH = RH * σ 计算得出
