汞CV测试仪

全自动汞探针系统是带扫描测试功能的高频电容-电压测试分析系统，它兼容3寸， 4寸， 5寸， 6寸， 8寸和12寸硅片。与传统的汞探针系统采用硅片正面朝下、真空吸附测试方式不同，汞探针系统采用独特的汞探针设计，测试时硅片样品正面朝上，避免了传统设备玷污和破坏样品、无法进行多点扫描测试的缺点。同时M采用高精度的调压设备来jingque控制汞柱和硅材料接触面积。该方法是测试硅外延层的电学参数及Low-K材料的介电常数等的有效方法。