ECV测试仪

供货厂家
九域半导体科技(苏州)有限公司  
报价
电议
联系人
张占武(先生)
手机
13739170031
发布日期
2023-12-13 13:12
编号
12722173
发布IP
114.219.118.114
区域
苏州电工仪器仪表
地址
太平街道聚金路28号8号楼
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详细介绍

可有效检测:外延材料、扩散、离子注入。
载流子浓度测量范围:1011/cm3~1021/cm3 ;
深度分辨率:至1nm;
模块化系统结构:
 - 拓扑型结构;
 - 实时监控腐蚀过程;
 - 适于微小样品及尺寸的晶圆;
- 自动化系统;


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