蓝宝石衬底基片清洗机

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蓝宝石衬底基片清洗机
一、设备外型结构及主要参数
名称：蓝宝石衬底基片清洗机。
控制模式: 手动控制模式 自动控制模式。
清洗能力：2-4英寸， 2篮/批，25片/篮。
需甲方提供花篮。
设备形式: 室内放置型。
洁净度：千级洁净室 。
二、工艺流程细节及槽体布局及配置
工艺说明:手动方式实现放片，取片，槽体间传送片。
工艺参数（温度，时间，DI水清洗流量，时间）手动设定。
设备台面布局按用户要求配制。
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