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石墨件清洗机
用途:本设备可用于还原炉石墨件的腐蚀清洗或用于硅材料行业中,用于腐蚀清洗硅棒制备设备所用的石墨器件和其他工序反复使用的石墨器件
工艺特征:
1、清洗的石墨件最大尺寸为Φ800×800(mm)。
2、对用于硅棒制备设备所用的石墨器件和其他工序反复使用的石墨器件进行腐蚀、清洗、烘干,具有较快的清洗速度和较高的清洗质量;
3、工件进出清洗槽人工操作外,其余酸浸、浸煮、配酸、补酸、烘干脱水过程能够自动完成,并能设定各工序时间。1、每个清洗槽可单独控制;配液由设在酸槽内的液位传感器控制,用户CDS系统提供原液;
3、排酸、进水、排水人工进行;人工移动花篮;