产品说明:
产品名称:LJP系列连续镀膜生产线
产品描述: 主要用于在平板玻璃、亚克力板及金属上镀制金属单层膜、合金膜或金属化合物膜。通过使用不同结构的靶及不同的靶材,在素材表面沉积一层或多层纳米镀层,可用于LOW-E玻璃镀膜、热反射玻璃镀膜、玻璃装饰膜、EMI电磁屏蔽膜、金属超硬膜等
主要特点:
1、采用新型的平面和柱状磁控溅射靶技术,提高镀膜效果和效率。
2、多真空室、多溅射室结构,可供用户选择,真空室之间有真空锁隔离
3、配备高精度的磁控电源、气体流量和速度控制,自动化程度高,操作简便,性能稳定。
4、膜层均匀性好、附着力强、硬度高、抗腐蚀性好,可镀多种颜色的膜系。
5、真空室有传统的立式设计和高效的卧式设计,满足不同层次客户的需要。
基本配置:
生产线由基片翻转、基片清洗、预抽室、缓冲室、镀膜室、输出缓冲室,成品预抽室、卸载翻转机架和自动控制系统组成。
技术参数:
型号 LJP-2000 LJP-2500 LJP-3300
可镀玻璃最大尺寸 1500X2000 1880X2440 2440X3300
生产节拍(分钟/片) 3 3 3
极限压力(Pa) 2X10-3 2X10-3 2X10-3
靶数量(个) 3 3 3
溅射功率(KW) 80X3 80X3 100X3
装机功率(KW) 300 380 420
真空室数量(个) 9 9 9