JIL系列磁控溅射镀膜机

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产品说明：

产品名称:JIL系列磁控溅射镀膜机

产品描述: JIL型磁控溅射真空镀膜机是立式单开门非平衡磁控反应溅射镀膜机。此设备所沉积的膜层在致密度、均匀度、纯度、硬度等方面均有提高。广泛应用于手表、眼镜、通讯、电子、机械、装饰和交通航空等领域的高档装饰和功能**薄膜。

产品详情说明:
主要特点：
1、沉积速率快，温升小，能较好抑制打火及靶中毒现象；
2、溅射释放的高能量使膜层密度和附着力有显著提高；
3、触摸屏+PLC,可实现全自动控制，自动/手动随时切换；
4、镀膜室容积大，装载量大，生产效率高。
5、工件架采用公转结构，可设置自动正反转，产品均匀**好；
6、整机配置合理，抽气速率快，噪声小，耗能低；

基本配置：
1、镀膜室、阀门、管道均采用不锈钢制造，立式、单开门结构，真空室有效直径自Φ1000mm～Φ1800mm；；
2、真空系统由机械泵、旋片泵、罗茨泵和带冷阱高真空油扩散泵或分子泵组成；
3、镀膜系统采用2～8套平面靶或柱靶，配有2～8个直流电源或中频电源；
4、辅助抽气系统采用一台低温水汽捕集器；
5、充气系统采用1～4路气体流量计及流量控制（显示）仪控制；
6、电控系统设置电路过载、断水、断气声光报警装置；
7、控制系统（触摸屏+PLC），实时显示详细参数，全自动控制整个生产过程，并自动存储工艺参数。
8、可根据客户要求配多套靶源。

技术参数：
总重量 3500kg～6000kg
名义功率 80KW～180KW
抽速（新机空载） 2×10-2Pa≤8min
极限真空（新机空载） ≤8×10-4Pa
压升率（新机空载） 0.67Pa/小时
工件转速 0～20r/min可调