WS-1000湿法设备

发布日期 :2010-07-08 15:33 编号:37057
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湿法设备又名半导体湿制成设备,Wet Station,半导体清洗设备。是应用于半导体清洗方面的设备。
WS-1000湿法设备产于美国,是原装的半导体湿制成设备。
半导体湿制成设备厂家介绍:
美国Laurell,Inc总部位于美国宾夕法尼亚,成立于1985年,是一家专业提供化工半导体材料清洁涂敷处理等特殊工艺的公司。公司拥有WS-1000-CP5/ WS-1000-CP7-D等各类半导体清洗设备,目前客户已遍布全球。主要半导体湿制成设备有以WS-1000湿法设备和WS-1000m湿法设备为代表的多种半导体清洗设备。
WS-1000湿法设备有标准型和更优的湿法设备,标准型湿法设备使用于一般要求,更好的湿法设备具有优良性能,满足客户对半导体清洗设备的更高要求。半导体清洗设备有不同型号,请根据具体需要选择半导体清洗设备。推荐的半导体清洗设备:WS-1000m湿法设备,
WS-1000湿法设备的一般特性:
◆全白色聚丙烯构造湿法设备
◆可内置任何Laurell公司的旋涂机
◆排放简便的入氮口和DI喷头
◆如果需要更小尺寸有微型的供选择
WS-1000湿法设备一般信息:
Laurell公司的WS-1000系列旋转处理湿法设备可以被配置成测试模块构造,安装简便,易于拆卸,更便于操作者控制。典型的WS-1000处理过程包括(但不限于):
◆涂敷
◆蚀刻
◆开发-水/溶剂
◆清洗-水/溶剂
◆确认,硫酸/双氧水(原样混合)
◆确认,HBr
◆温控开发
◆冲洗/烘干
WS-1000湿法设备特点:
全聚丙烯构造(见下文的自灭火功能)
可兼容安装任何Laurell 旋涂机
有排孔的湿隔层(易于拆除)
潮湿的空间
标准规格的排气空间
被热水器,水泵,容器等隔离的组件/容器
WS-1000湿法设备选项:
◆排气联锁控制处理器(一些型号是标准的)
◆加热和原材料搅拌
◆抵抗力冲洗
◆排水转向装置
◆真空负荷棒
◆晶片盒座
◆检漏
◆轻塔

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