半导体湿制成设备

发布日期 :2010-07-08 15:31 编号:37086
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半导体湿制成设备又名湿法设备,Wet Station,半导体清洗设备。是应用于半导体清洗方面的设备。
半导体湿制成设备(Wet Station)为美国原装湿法设备。主要代表半导体清洗设备:WS-1000湿法设备,WS-1000m湿法设备。Mycro湿法设备有标准型和更好的湿法设备,标准型Mycro湿法设备适用于一般要求,更好的Mycro湿法设备具有优良性能,满足客户对半导体清洗设备的更高要求。半导体清洗设备有不同型号,请根据具体需要选择半导体清洗设备。推荐的半导体清洗设备:WS-1000m湿法设备
WS-1000湿法设备特点:
◆全聚丙烯构造(见下文的自灭火功能)
◆可兼容安装任何Laurell 旋涂机
◆有排孔的湿隔层(易于拆除)
◆潮湿的空间
◆标准规格的排气空间
◆被热水器,水泵,容器等隔离的组件/容器
可以根据要求采用更的材料的湿法设备
更好的半导体清洗设备
WS-1000-CP5 符合SEMI S93标准应用在消防安全和洁净空间等领域。CP5符合UL94 V-O 火灾分类标准。它具有优良的平衡的物理性能,耐化学药品性和耐火性。

WS-1000-CP7-D的材料阻燃特性符合最严格的FMRC 4910测试标准,满足多方面条件下的难燃性,自熄特点和彻底燃烧。这种先进的材料也达到或超过产生低烟和最小毒副产品的检测标准。
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