将CO2气体灌入一组高密度薄膜CELL，工作原理CO，+H，O>HCO，+H+，将静电阻值降低至适当值，而不致将晶圆表面的线路因静电受到破坏，以保障切割良率
1 降低使用切割水(D.I水)时产生静电的伤害，保障切割品质
2 消耗气体量少及费用低廉，操作简单并无需要做任何保养
3 不会产生二次污染，并可精准控制D.I水中之静电阻值，确保品质及生产良率
| 型号 | COII-2000AD | COII-3500AD | 单位 | |
| 规格参数 | 制水能力 | 300-2000 | 300-3500 | L/h |
| 控制阻抗 | 0.2-2 | 0.2-2 | ||
| 机器尺寸 | 410*526*1156 | 410*526*1156 | mm | |
| 动力 | 设备重量 | 40 | 40 | KG |
| 电源 | AC220 | AC220 | V | |
| 纯水压力 | 0.5-0.8 | 0.5-0.8 | MPa |
