二流体晶圆清洗机

发布日期 :2023-11-25 18:04 编号:12565856 发布IP:60.163.49.10
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ACS系列是专门用于晶圆、QFN、玻璃、基板、手机模组和陶瓷等切割后的清洗设备,此系列为二流体清洗方案。采用可编程控制器+全彩色触摸显示屏为控制系统,令整机性能更加稳定、操作便捷;


1    采用最新的二流体混合清洗方案,提供扇形和圆柱形两种清洗喷头    

2    适用于蓝膜、UV膜、PET衬底膜和双层膜    

3    旋转轴采用用于航空业的磁密封技术,性能安全、可靠,真空泄漏量小于1%    

4    采用离心式自动抓紧锁扣装置,不需要人工固定夹具等复杂操作    

5    配备7英寸高清触摸屏,清洗参数和故障报警一目了然    

6    一键式启动执行全自动工作流程,清洗状态监视,时间倒计时显示    

采用特殊的内部结构设计能使之均匀混合,产生微细液滴尺寸的喷雾或粗液滴喷雾。通常,通过增加气体压力或降低液体压力可得到更加微细(30um左右)的液滴喷雾,从而导致较高的气体流率与液体流率比,从而形成强大的冲击波,有效的对切割道内的细微粉尘,进行彻底的清洗。    



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