氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9～10-12Pam3/s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声显著减小.其灵敏度可达10-14～10-15Pam3/s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点.适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3/s。
氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度较高，用得较为普遍的检漏仪器。氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
（一）喷氦法
喷氦法是常用，比较方便的检漏方法。检漏时，用连接在装有氦气的气瓶上的喷枪向怀疑有漏泄的部位喷氦气，如果有氦气从漏孔中流入压力容器装置，则装置内的氦分压就会上升，氦检漏仪上就会显示有泄漏率。是否合格要看标准漏率值是定在多少，超过标准漏率值的可视为不合格。
（二）吸枪法
吸枪法是先向压力容器装置中充入一个以上的大气压的氦气或氦气与其他气体的混合气，从压力容器装置的外部检测从漏孔泄漏到外部的氦气，进而发现漏孔。用吸枪寻找氦气时，一旦氦气被吸入，氦检漏仪就会显示出漏率值。在这种情况下，因为压力容器装置外部是一个大气压，所以充入压力容器装置内的气体压至少需要一个大气压以上。但压力不宜过高，压力过高，插在装置上的压力表或其它插件就会弹出而发生伤人等危险事故。
（三）背压法
全密封件进行气密性检测时采用背压法。检漏前用压氦罐向被检件压入氦气（由压力和时间控制压入的量），然后取出被检件，吹去表面吸附氦气；或者先在被检件前道工艺中向产品内部封入氦气。被检件放入检漏罐中，再将检漏罐连接到氦质谱检漏仪，对检漏罐抽真空检漏，被检件有漏孔存在，通过漏孔压入（或封入）被检件的氦气会泄漏出来进入检漏罐，被氦质谱检漏仪定量检测到。用这种方法测得的漏率是总漏率。
氦检漏仪设备日常保养
1. 真空腔体、真空管道、真空阀门保证清洁干燥，定期清洁；
2. 每天检查真空泵泵油位、颜色是否正常，如果真空泵油变色或油位过低需及时更换；
3. 检漏仪需定期校准；
4. 定期检查真空密封、高压密封接口是否老化并及时更换；
5. 首班检测，需要拿标准漏孔及漏件标定设备，标定通过后方可进行批量检测；