氦质谱检漏仪是一种以氦气作为示漏气体的真空检漏仪器。因为性能好、灵敏度高，因此它在真空以及其他相关行业中使用较为广泛。这也是干式螺杆真空泵厂家介绍的一种常用真空检漏仪器。
氦质谱检漏仪的基本原理是采集被检件中的气体将其电离，根据不同种类气体离子质荷比不同的特点，利用磁偏转分离原理将其区分开来。仪器只对示漏气体氦气有相应信号，而对其他气体没有反应，属于唯一性检漏仪器。检漏过程中，一旦出现信号，就说明有氦气通过漏孔进入被检件，从而指示出漏孔的位置与大小。而之所以选择氦气作为示漏气体，主要是因为氦质量轻，易于穿过漏孔，扩散快，对分析设备制造的要求相对简单；同时氦气在空气中含量少，本底压力小，又为惰性气体，不易发生反应等等，都为提高仪器灵敏度创造了条件。
氦质谱检漏仪进展集中体现如下方面
1.智能化：以往的氦质谱检漏仪操作非常辅助，而现在的触屏式，便携式氦质谱检漏仪公司，自动检测。
2.便捷化：这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。
3.自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节0点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜择功能，一个按钮即可完成全检漏过程。
4.全无油的干式检漏：有些生产的检漏仪，可采用干式泵，国产氦质谱检漏仪公司，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。
5.检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。
歌博生产的氦质谱检漏仪凭借卓越的品质及稳定的性能已广泛应用在真空设备检漏上，在各行各业的密封泄漏问题解决中发挥着重要作用。