氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度较高，用得普遍的检漏仪器。
氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为10-9～10-12Pam3/s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声显著减小．其灵敏度可达10-14～10-15Pam3/s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点．适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-13Pam3/s。
氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
氦检漏仪通过氦气检测技术，可以检测出极小的氦漏失，从而帮助客户更好地检查和维护设备。它的核心原理如下：
1.检测氦气：氦检漏仪采用高灵敏度的氦气检测技术，可以快速检测到极小的氦漏失。
2.检测灵敏度：氦检漏仪采用高灵敏度的氦气检测技术，具有极高的灵敏度，可以检测到极小的氦漏失。
3.检测准确性：氦检漏仪采用的氦气检测技术具有极高的准确性，可以有效检测到微小的氦漏失。
氦质谱检漏方法常见的有真空法检漏、正压法检漏以及背压法检漏三种检测方法，这几种氦质谱检漏法的检测原理不同，检测的优缺点及检测的标准也有所差别。氦质谱检漏仪应用领域比较广泛，涵盖了航空航天/电厂电力/分析仪器/汽车制冷/核工业/仪器仪表/压力容器/半导体/阀门/管路管道/包装/新材料/新能源/真空炉/真空镀膜等行业。