氦质谱检漏仪（MSLD），用于定位和测量进入或离开系统或容器设备的泄漏。将示踪气体氦气引入与检漏仪连接的测试部分。氦气通过测试部件泄漏进入系统，测量分压并显示在压力表上。
目前氦质谱检漏仪具有如下功能
支持正压检漏，负压检漏
自动跟踪本底，提供快速可靠的测量结果
优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应
高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦
支持氮气破空，不受环境氦气干扰，快速降低本底
机器卓越的性能支持7*24小时长时间在线测试
机器卓越的性能支持几秒一次的高频率测试
配有检漏口精细过滤器，过滤细微杂质，确保机器不受杂质影响和损伤
双铱丝离子源，有效的系统设计，防大气冲击
支持定制检漏工作台，更加便捷使用
氦质谱检漏仪适用于真空行业，仪器仪表行业、管道、接头、阀门、波纹管、各种真空泵、各种排气装置、电子显微镜、质谱仪、电子束离子速度曝光机、激光轴分离器、高能加速器、医用加速器、辐射加速器、镀膜机、薄膜真空计等。铀分离装置、贮存装置、核能发电装置。制冷行业的冰箱、空调、溴化锂制冷机组、汽车空调、蒸发器、冷凝器、压缩机、以及低温储罐等。
氦检漏仪由以下几部分组成：
1. 用于检测氦质量的光谱仪。
2. 用于维持分光计压力的真空系统。
3. 用于抽真空待测部件的机械泵。
4. 支持各种测试阶段的阀门:抽真空，测试和排气。
5. 放大器和读出仪器，用于监测输出信号。
6. 电源和控制。
7. 将待测零件连接到检测器的夹具上。
歌博氦质谱检漏仪厂家成立10年来，服务客户超过3000家，在国内氦检设备处理头部地位，得到了客户的一致认可，公司拥有经验丰富的研究应用技术团队，稳健高效的运营团队和靠谱的销售队伍，主要成员均有着十多年的氦质谱检漏行业从业经验，有丰富的经验和技术实力。