目前，国内工业生产厂家广泛使用氦质谱检漏仪进行产品质量监督，并且已经建立了自己的标准和方法。在电工和电子工业中，根据不同产品对密封的要求多采用喷吹法，吸入法和压氦法等检漏方法。
氨质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。
氦质谱仪由离子源、分析仪、收集器、冷阴极电离计、气体萃取系统和电气部分组成。在电工和电子工业中，根据不同产品对密封的要求多采用喷吹法，吸入法和背压法等检漏方法。
1、喷吹法检漏
1)可以定位漏点。
2)高精度。
3)消耗较少的氦气。
根据产品的不同，需要选择不同尺寸的夹具或辅助工具如管壳的检漏。检漏仪正常工作后，用标准漏孔进行漏率校准，就可以对管壳作喷吹检漏，先将夹具固定在检漏口，待测管壳放在夹具上面的橡皮板上，辅助抽气系统将其抽至预定真空后自动接至仪器的测量系统。然后用喷枪连续向管壳喷氦气，时间一般1～3秒，当管壳存在漏孔时，氦气将通过漏孔进入仪器的质谱分析部分，漏量大小在漏率表上直接显示出来，这种方法即能判断漏孔的位置也可测量漏孔的大小。整个检测周期只需一分钟。
2、吸入法检漏
1)可以定位漏点。
2)无需抽真空。
检漏之前，必须校准仪器的吸枪灵敏度，再向容器内充入比一个大气压高的氦气，有些容器是薄板结构，建议在容器外面做夹具防止高压时变形损坏器件。吸枪沿焊缝移动时速度不要太快，离开表面1mm左右，以保证吸入灵敏度，将探头做成喇叭口形效果更好。目前，对这种大型电工器件检漏结果表明，它们的漏率一般在10-6～10-7Pa.m3/S范围内。
3、背压法检漏
1)对密封装置进行指定检测。
2)高重复性
一般背压法检漏时采用排除法。在夹具中放一定数量的器件，这一批的总漏率没超过报废预定值，说明这一批合格;总漏率超过报废预定值可以取出一半，剩下的一半继续检漏，这一半合格说明有漏的器件在取出的那一半中，依此检漏直至检出有漏孔的器件。