需要密封性检测的应用领域非常广，如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力，还有承载液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的压缩容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。 这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要先进行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。
氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，因为氦气是惰性气体，对大气无污染、使用安全，氦原子量小、粘度小，易渗透任何可能存在的漏率，具有性能稳定、灵敏度高、适用范围广的特点，是目前真空检漏技术中灵敏度高，使用普遍的检漏仪器。检漏的工作内容就是在设备制造、安装、调试和运行过程中，判断泄漏量是否在允许范围内、检测泄漏率的大小，并查明泄漏点的位置，从而可以进一步找出原因，避免发生因泄漏而导致的故障。
氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、质谱室和抽气系统及电气部分等组成。氦质谱检漏法的原理是利用不同质荷比的离子在磁场中受洛伦兹力不同而做圆周运动半径不同的原理，将不同质荷比的离子分开，在相应半径上收集到示踪气体，如果被检件出现泄漏，则会检测到氦离子，再通过相应计算得出漏率大小。
氦质谱检漏仪部分参数
zui小可检漏率（负压模式） 5×10-13Pa•m3/s
zui小可检漏率（正压模式） 5×10-9Pa•m3/s
检漏口压强 粗检 1500Pa
中检 200Pa
精检 40Pa
响应时间 ＜0.5s
启动时间 ≤2min
前级油泵抽速 16m³/h（4.4L/s）
