氦质谱检漏仪是以氦气作为示漏气体，对真空设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的专用检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便，检测迅速等特点，是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器。
氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。由于检漏仪器系统构成复杂，且客户对产品性能和稳定性要求较高，形成行业进入壁垒。近年来，行业间企业竞争态势出现分化，市场和技术资源向行业头部企业集中，目前行业中高端检漏领域竞争主要集中在以进口品牌、国内厂家如安徽歌博、中科科仪、皖仪为代表的少数国产品牌之间。
氦质谱检漏仪方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用,这种方法的优点是:检漏灵敏度高,可以检漏到10-11Pam3/s 数量级,仪器响应快,氦分子在仪器高真空的环境中扩散的速度很高;所以氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用,在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、卫星、飞机等这些都要用到真空检漏技术。在一般工业领域里原子能、发电厂、配电站、合成氨的氮肥生产厂、汽车制造业、造船工业、制冷工业、冶金工业、输气管道、气罐、油罐、锅炉快餐食品包装等都离不开检漏问题,同样在导弹武器装备中也离不开检漏,导弹弹体、燃料储备罐、燃料运输管道、弹头、特殊部件的密封性都要用到氦质谱检漏仪。
歌博氦质谱检漏仪产品优势：
1. 氦质谱检漏仪操作简单, 一个按钮启动, 3 分钟既进入工作状态
2. 检漏仪进口起动压力高达 25 mbar, 缩短检测周期, 模组化设计, 便于维护和维修
3. 小可检漏率：
真空模式：5X10(-12) mbar l/s (5X10(-13) pa m3/s)
吸枪模式：5X10(-8) mbar l/s (5X10(-9) pa m3/s)
4. 检漏仪能够实现动态跟踪本底清零, 检测灵敏度高, 检测时间短
5. 氦气检漏仪内置标准漏孔,自动校准
6. 检漏仪器的氦清除时间短, 进气口处对氦气的抽速达 2.5 l/s
