氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。
氦质谱检漏仪是一种用于检测和定位气体泄漏的设备。它基于质谱原理，通过检测氦气分子在泄漏点产生的特征信号来确定泄漏的位置。氦质谱检漏仪是一种利用氦气作为泄漏气体，对真空设备、密封设备中微小泄漏进行定量、定性检测的专用检漏仪。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简单、检测快速等特点，是真空检漏技术中应用广泛的检漏仪器。
真空氦质谱检漏仪的应用领域非常广泛，常用于真空设备检漏，如航空航天高科技工业、电力行业、电子行业、真空仪器仪表行业、核工业、制冷行业、不锈钢保温器皿等 。常见的氦质谱检漏仪检测方法有漏点型、漏率型两种。
该检漏仪通常由两个主要部分组成：氦气充填系统和质谱分析系统。
目前歌博氦质谱检漏仪品牌具有如下特点
操作方便：体积小，重量轻，结构紧凑，操作面板简单；
性能高：采用了进口检漏仪仪专用分了泵与高性能的质谱系统，灵敏度度高，检测压强高，响应时间快；
功能强大：多种模自动切换，丰富的菜单选项，具有权限管理功能；
可靠性高：采用抗氧化性的氧化钇铱灯丝提高灯丝寿命，系统具有强大的保护功能；
多种接口：具有RS232/485，外控IO，遥控器接囗以及外部规管接口等用户接囗；
