在精密检测与半导体量测领域,传统机械传动由于存在中间环节,长期运行后容易产生间隙与磨损,导致运动轨迹出现偏差。针对这一工况,越昌科技推出了 GLMT-XY 系列 XY 直线电机运动平台。该平台采用直线电机直驱架构,省去了丝杠与同步带等中间环节,为需要高频往返与长期稳定运行的设备提供二维运动基准。
在核心参数方面,平台搭载三相有铁芯电机,配合高精度光栅尺进行反馈。其重复定位精度可达 ±0.5μm,小步长能达到 10nm 级别。设备运行速度达 500mm/s,负载能力为 50kg。由于无接触传动,平台在运行中减少了因磨损带来的位置波动,具备较快的响应速度与平稳的启停特性。
在实际应用中,该平台适配半导体与精密电子检测场景,例如晶圆、载板以及 PCB/FPC 产品的缺陷扫描、尺寸测量与对位检测。在光学检测中,可搭载相机或激光测头完成平面扫描;在激光加工领域,能作为工件台或光路承载平台。也适用于工业计量与实验室的自动化检测工位。设备支持根据客户的实际行程、负载与安装空间提供定制化方案。
