TG390M磁悬浮轴承型涡轮分子泵

全方位安装　■轻巧设计　■节能　■分子泵停止与启动时间短　■附带维护警报机能　■低振动　■无需调整　■自动校准　■可控制转子旋转速度　■大流量排气　■多种通信模式　■符合安全规格　NRTL/SEMI-S2/CE用途・半导体制造・电子枪排气，离子源排气・FPD制造・表面处理，表面改质・各种电子部件的制造・分析，试验装置・管球制造，光学部件制造・加速器，放射线设施，核聚变研究・热处理・研究开发吸气口法兰VG100CF100ISO-B100排气速度N2 (L/s)340N2(附加金属保护网) (L/s)320H2 (L/s)290大压缩比N21×108　H24.5×103极限压力VG・ISO-B/CF (Pa)