MS1000是专为惯性应用而设计的同类电容式体硅MEMS加速度计。其优异的长期零偏和比例因子重复性，低运行偏差，优异的振动行为（VRE）和低噪声，可用于非常**和具有成本效益的战术级测量。内部电子电路集成了一个具有差分模拟±2.7V输出的信号调理器，一个内置自检和一个温度补偿传感器。
单轴模拟加速度计MS1000产品特点
运行中偏置稳定性: 15 µg
非线性: ±0.3% FS
优异的长期零偏重复性: 1.2mg
恶劣环境中的可靠性
低噪声: 34 µg/√Hz
LCC20, 密封包装
重要参数, 典型值 | MS1002 | MS1005* | MS1010 | MS1030* | MS1100* | Unit |
加速度全量程 | ± 2 | ± 5 | ± 10 | ± 30 | ± 100 | g |
剩余偏置建模误差 | 0.14 | 0.35 | 0.7 | 2.1 | 7.0 | mg |
长期零偏重复性 | 0.24 | 0.6 | 1.2 | 3.6 | 12.0 | |
运行中偏置稳定性 | 3 | 7.5 | 15 | 45 | 150 | µg |
剩余比例因子建模误差 | 120 | 120 | 120 | 120 | 120 | ppm |
比例因子敏感性 | 1350 | 540 | 270 | 90 | 27 | mV/g |
轴不对准 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | mrad |
分辨率(1Hz) | 7 | 17 | 34 | 102 | 339 | µgrms |
非线性 (IEEE norm) | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | % FS |
运行功耗 | -40 to +125 | -40 to +125 | -40 to +125 | -40to+125 | -40 to +125 | °C |
尺寸 | 9 x 9 | 9 x 9 | 9 x 9 | 9 x 9 | 9 x 9 | mm2 |
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