高速检漏，可进行腔体检漏
提高生产率和产量
寿命长，不烧丝，有气涌保护
可承受工艺化学反应
智能算法，易于集成
设计紧凑，占地面积小
可靠、快速启动
典型应用腔体泄漏检查，更快的RoR（上升率）测试
泄漏检查，发现气体供应管道的内部泄漏
实时终端控制
气体类型和浓度控制
零件编号
附件
备件
| 零件编号 | 描述 |
| 3OF0-011-010P | OPG550 TI,LC,9DSub,16KF |
| 3OF0-013-010P | OPG550 TI,LC,9DSub,16CF-R |
| 3OF0-01E-010P | OPG550 TI,LC,9DSub,8-VCR f |
| 3OF1-016-010P | OPG550 TI,LC,9DSub,25KF |
| 3OF1-017-010P | OPG550 TI,LC,9DSub,40KF |
| 3OF1-01Q-010P | OPG550 TI,LC,9DSub,40CF-F |
