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三坐标平台的结构材料对其测量精度、性能有很大影响，随着各种新型材料的研究、开发和应用，三坐标平台的结构材料也越来越多，性能也越来越好。
三坐标平台主要是使用高强度铝合金。这是近几年发展最快的新型材料。铝材料的优点是质量轻、强度高、变形小、导热性能好，并且能进行焊接，适合作测量机上的许多部件。应用高强度铝合金是目前的主要趋势。
工作面硬度为HB170-240，经过两次人工处理(人工退火600度-700度和自然时效2-3年)使用该产品的精度稳定，耐磨性能好。
三坐标平台规格：100mm×100mm—3000mm×6000mm
三坐标平台使用与维护：
1.用时小心、谨防碰撞。
2.用完后擦净，涂无水酸性的防锈油，笼盖防潮纸，置于清洁干燥处存放。
3. 三坐标平台使用前用无侵蚀性汽油，将工作面的防锈油洗净，并用脱脂棉纱擦拭干净，方可使用。
4. 三坐标平台温度变化会使丈量产生误差，应在20±50C范围内使用。
5. 三坐标平台使用时用水平仪调整到水平，使支点平均分布各支点上。
