等离子清洗机 等离子清洁机 等离子蚀刻及清洁系统-苏州阿赛特

发布日期 :2015-03-12 15:53 编号:2608913 发布IP:123.181.43.198
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目前,小型等离子清洗 /刻蚀机在国外已经得到了广泛的应用,多数集中在小批量、高品质的大学、研究所以及跨国公司的半导体、材料和生命科学研究所等高科技行业。
小型等离子清洗 /刻蚀机的常规应用
小型等离子清洗 /刻蚀机在微电子研究、加工等行业中应用非常广泛、已经成为微电子制造业中不可缺少的一道工艺,其具体应用如下。 金属表面去油及清洁
金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层,在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和 PVD、CVD涂覆前,需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。
在这种情况下的等离子处理会产生以下效果。 !灰化表面有机层
被有机物污染表面会受到化学轰击;在真空和瞬时高温状态下,污染物部分蒸发;在高能量离子的冲击下污染物被击碎并被真空带出;紫外辐射破坏污染物。
因为等离子处理每秒只能穿透几个纳米的厚度,所以被处理表面的污染层不能太厚。
氧化物去除
金属氧化物会与处理气体发生化学反应,这种处理要采用氢气或者氢气与氩气的混合物。有时也采用两步处理工艺。第一步先用氧气氧化表面,第二步用氢气和氩气的混合物去除氧化层。也可以同时用几种气体进行处理。
通常,印刷线路板在焊接前要用化学助焊剂处理。在焊接完成后这些化学物质必须采用等离子方法去除,否则会带来腐蚀等问题。
等离子刻蚀
在等离子刻蚀过程中,通过处理气体的作用,被刻蚀物会变成气相(例如在使用氟气对硅刻蚀时)。处理气体和基体物质被真空泵抽出,表面连续被新鲜的处理气体覆盖。不希望被刻蚀部分要使用材料覆盖起来(例如半导体行业用铬做覆盖材料)。
等离子方法也用于刻蚀塑料表面,通过氧气可以灰化填充混合物,同时得到分布分析情况。刻蚀方法在塑料印刷和粘合时作为预处理手段是十分重要的,如 POM,PPS和 PTFE (。等离子处理可以大大地增加粘合润湿面积。 刻蚀和灰化(刻蚀在未做处理的情况下不能印刷或粘合。众所周知,使用活跃的碱性金属可以增强粘合能力,但是这种方法不容易掌握,同时溶液是有毒的。使用等离子方法不仅保护环境,还能达到更好的效果);等离子结构可以使表面最大化,同时在表面形成一个活性层,这样就能够进行对塑料粘合、印刷操混合物的刻蚀必须十分仔细地进行,以免填充物被过度暴露,从而削弱粘合力。处理气体可以是氧气、氢气和氩气。可以应用于丙烯、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清洁塑料、玻璃、陶瓷与聚丙烯一样是没有极性的,因此这些材料在印刷、粘合、涂覆前要进行处理。同时,玻璃
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