检验范围
晶体硅,石英玻璃管材、石英加热管产品,石英电光源产品,石英器件、石英砂和硅微粉,碳化硅,金属硅,熔融石英,水晶工艺品等10大类45项产品的检验。
检测能力
Al、Fe等元素分析,P、B元素分析,Fe元素分析,单晶硅中B、P,霍尔系数,迁移率,电阻率,粒度分析,粒度分析,形态分析,羟基含量,水分测定,二氧化硅含量,碳化硅含量等。
仪器设备
辉光放电质谱仪、X射线衍射仪、扫描型X射线荧光光谱仪、紫外•可见•近红外分光光度计、傅立叶变换红外光谱仪、低温傅立叶变换红外光谱仪、激光粒度仪、百万分之一电子天平、偏光金相显微镜、全自动立体显微镜、等离子发射光谱仪、电感耦合等离子体质谱仪、原子吸收光谱仪、场发射扫描电镜(能谱)、超低碳分析仪、超低氧分析仪、少子寿命测试仪、硅片厚度测试仪、数字式四探针测试仪、深能级瞬态谱仪、低温霍尔效应测试仪等。