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我公司主营真空泵等产品，下面就说说干式真空泵5大优势
　　1.干式真空泵低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中。
　　2.干式真空泵用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
　　3.干式真空泵半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒。
　　4.干式真空泵在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵。
　　5.干式真空泵除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求。
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