一、技术参数
行程范围:X轴------800 mm
Y轴------1000 mm
Z轴------600 mm
结构型式:活动桥式
传动方式:柔性齿同步带+预载荷高精度空气轴承
长度测量系统:开放式光栅尺,分辨率为0.5 μm
机台:高精度花岗岩平台
使用环境:温度(20±2)℃,湿度55%-65% ,温度梯度1℃/m
温度变化 1℃/h
空气压力:0.4 MPa - 0.5 Mpa
空气流量:100 L/min – 120 L/min
整机尺寸:2.0m X 1.5 m X 2.7 m
机台承重:1000 kg
整机重量:2000kg
探针测量系统:
1.控制软件:SEREIN DMIS V2.0
2.操作方式:计算机自动控制+微电脑操纵盒
3.测量不确定度(E):(3.0+L/300)