KoflOC3660系列的质量流量控制器MFC

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KoflOC3660系列的质量流量控制器
KoflOC 3660系列质量流量控制器设计精密，成本较低，广泛用于不同的领域，包括实验室和开发项目中，作为的质量流量控制器用于各种类型的分析器和真空装置中。各种衍生的型号和选项可选。
特点
通过安装一个温度流量传感器得到高的快速回应。
通用的常闭型阀门确保了安全
使用电磁执行器保证了高效的可靠性
低差压类型控制适用于燃烧的气体（LP可选）
技术指标
F.S.流量 (N2) 10SCCM-20SLM(30SLM-100SLM)
阀门方式 常闭电磁阀
控制 控制范围 2%-F.S.（5%-F.S.）
应答性 设定±2%F.S.至2秒以内（标准）
精度 ±1.5%F.S.以内（±2%F.S.以内）
再现性 ±0.5%F.S.以内
压力 耐压 980kPa
操作差压 F.S.≤5SLM 49kPa-294kPa； 5＜F.S.≤20SLM 95kPa-294kPa
温度 使用温度 5℃-45℃
连接气体部分材料 SUS316、氟橡胶、氯丁橡胶（选购件）
电力连接 　
输入流量信号 0-5VDC
输出流量信号 0-5VDC
需求电源供给 +15VDC(±5%)100mA-15VDC(±5%)200mA
选型表
订购范例 3660 1/4SWL N2 20SLM O 3660-1/4SWL-N2-20SLM-O
型号 3660 　 5400：质量流量控制器
　 5410：质量流量计
连接方式 　 1/4SWL 　 标准：1/4SWL;3/8SWL
　 可选：1/8SWL;1/4VCR;Rc1/4
介质 　 N2 　 N2:以N2换算
流量 　 20SLM 　 10SCCM-20SLM（在N2的标准条件下)
选项 　 O O:无选项
选项名称：QS:快开
SL:慢开
LP:低差压技术指标
本公司同时提供美国AALBORG、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC质量流量计、质量流量控制器、数字式质量流量控制器、耐腐蚀质量流量控制器