压电阀PEV-1和自动压强控制仪

PEV-1压电阀
产地：美国KEYHIGH
压电阀是为了适用于要求控制气体流量的场合，主要应用领域包括: 磁控溅射，光学镀膜，太阳能电池，ITO，等离子体刻蚀等。
特点
1. 控制模式：开环控制和闭环控制
2. 易于集成：可与国产自动压强控制仪配套使用，来实现闭环控制，达到稳定压强的目的，，同时亦可选择进口压强控制仪
3. 响应时间快
4. 性能稳定，压电陶瓷片寿命长
5. 无机械连接件，无伺服马达，无磨损，在断电的情况下可实现自动关闭的特点
技术参数
流量 0¬-500 scmm
响应时间 2 毫秒
集成漏率 5×10-8sml/sec
驱动电压 0-100VCD/0-24VDC
电路连接 标准BNC接头（Q9）
温度范围 100C至600C
最大入口压强 50PSI
重量 800克