高压热电离皮拉尼真空计HPG400

INFICON高压热电离皮拉尼真空计
产品型号:HPG400

INFICON公司生产的HPG400型高压强热电离皮拉尼真空计将高压强热电离与皮拉尼规管综合在一个小型、
轻便与经济的规管中，测量压强从2×10-6至1000毫巴(1.5×10-6至750乇)。HPG400提供高度的重复性
和再现性压强测量，用于的溅射过程的压强控制。
HPG400皮拉尼真空计详细资料
优点：
极宽的测量范围从5x10-10毫巴至大气压(3.8x10-10乇至大气压)
极好的重复性,过程压强范围10-8 … 10-2毫巴均为5%
皮拉尼连锁保护灯丝,防止过早烧毁
双敷涂钇的氧化铱长寿命灯丝
可选图形显示和现场总线接口
自动高真空皮拉尼调整,减少操作人员的干预
容易更换具有在机校准的传感元件,保证高度重复性
应用：
半导体工艺和输送室中的压强测量
工业镀膜
一般真空测量和控制,从低至超高真空范围
订 购 资 料
型号 HPG400
Without LCD display HPG400
With LCD display HPG400-SP
With Profibus DP1） HPG400-SD
With DeviceNet1）
DN 25ISO-KF 353-520 353-521 353-525 353-527
DN 40CF-R 353-522 353-523 353-526 353-528
更换传感器25ISO-KF 354-487 354-487 354-487 354-487
更换传感器40CF-R 354-488 354-488 354-488 354-488