美国AALBORG质量流量计GFC/AFC/DFC

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美国AALBORG质量流量计GFC/AFC/ DFC
Aalborg Instruments & Controls, Inc是世界上的气体质量流量计的生产厂家，其产品广泛用于半导体、平板显示、数据存储、真空镀膜、太阳能电池、 材料科学 、石油化工、环保等领域。
产品特点：、响应速度快、可靠性高，易于集成、环路保护、备总量计数器
典型应用：CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺
产品型号及技术参数：
型号
技术参数 AFC型（高精型） GFC（经济型） DFC（数字式高精型）
管道材料 316不锈钢或416不锈钢 316不锈钢，416不锈钢或铝 316不锈钢，416不锈钢
满量程流量范围 10sccm到100slm 10sccm 到1000slm 10sccm到100slm
密封 橡胶（可选Viton、Buna、EPR、Kalrez）
控制阀类型 常开或常闭电磁阀控制
管路连接 1/4″1/8″3/8″Swagelok（可选VCR) 1/4″1/8″3/8″1/2″3/4″Swagelok(可选VCR) 1/4″1/8″3/8″Swagelok（可选VCR)
电器连接 15-Pin D 15-Pin D 25-Pin D
电源 ±15Vdc 12Vdc/24Vdc ±15Vdc
输入/输出信号 0-5Vdc或4-20mA
数字界面 无 无 RS232/RS485
响应时间 到达设定点2％所需时间＜1秒 到达设定点2％所需时间＜2秒 到达设定点2％所需时间0.6-1秒
精度 满量程±1%范围内 满量程±1.5%范围内 满量程±1%范围内
重复性 满量程±0.2%范围内 满量程±0.5%范围内 满量程±0.15%范围内
漏率 最大值1×10-9sml/sec
（氦气） 最大值1×10-7sml/sec
（氦气） 最大值1×10-9sml/sec
（氦气）
工作压力 25psig(1.73bars)
最大入口压力 500psig（34.5bars）
温度范围 5-50℃(41-122℉)