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影像测量仪的花岗岩表面作为测量区域，轨道只能作机器运行不可作测量区域，轨道不能碰伤，划伤；由于未经良好处理的压缩空气会导致污垢，不可使用压缩空气来清理机器，影响空气轴承的正常工作。
在测量仪器测量工件时,如果中间休息把Z轴移到被测工件上方的安全平面，并留出一段净空，然后按下操纵盒上的急停按钮。手动操控机器探测时应使用较低的速度并保持速度均匀。测量小孔或狭槽之前确认回退距离设置适当。
保持二次元,三次元工作台面的整洁和被测工件表面清洁，可使用吸尘器来清理机器。运行一段测量程序之前请检查当前坐标系是否与该段程序要求的坐标系一致，不可试图让机器急速转向或反向。在彻底了解了在紧急情况下如何关机之后才能尝试运行机器，自动回退完成之前不可拧操纵杆。
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