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三坐标测量仪控制系统中，控制驱动三次元的运动是其中的一个主要功能，它可使三坐标进行三轴同步运动、速度控制、加速度控制等。
三坐标测量仪操纵盒或计算机指令通过系统控制单元，按照设置好的速度、加速度，驱动三轴直流伺服电机转动，并通过光栅和电机的反馈电路对运行速度和电机的转速进行控制，使三轴同步平稳的按指定轨迹运动。控制系统控制影像测量仪运动轨迹有飞行测量、点定位两种方式，飞行方式测量效率高，运动时停顿少，点定位方式适合指定截面或指定位置的测量。
三坐标测量仪控制系统可以通过语句进行设置。在进入计算机指令指定的触测的探测距离时，控制单元会控制三坐标测量仪由位置运动速度转换到探测速度，使测头慢速接近被测零件。当通过操纵盒或计算机指令控制运动的测量机测头传感器与被测零件接触时，测头传感器就会发出被触发的信号，信号传送到控制单元后，立即令测量机停止运动，同时锁存此刻的三轴光栅读数。
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