德国SENTECH公司 PECVD 气相沉积系统

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德国SENTECH公司 PECVD 气相沉积系统---上海/苏州/无锡/南京/天津/北京/武汉/西安/杭州/济南/广州
SENTECH仪器（德国）有限公司研发、制造和销售先进的薄膜测量仪器（光谱椭偏仪、激光椭偏仪、反射膜厚仪）、光伏测量仪器（在线和离线测量工具）和等离子工艺设备（等离子刻蚀机、等离子沉积系统、原子层沉积系统、用户定制多腔系统）。
仪器广泛应用于微电子、光电、纳米技术、LED、平板显示、材料、有机电子、光伏、玻璃镀膜、生物学、生命科学、等研发领域。
NOVTEC寓意“科技创新”，即诺威特测控科技有限公司，在德国、日本设有代表处，多年来致力于将的高科技产品带给中国及亚洲的广大用户，并为客户提供完善的售后服务，协助他们提高生产技术水平、竞争力及增加盈利，专业从事工业测量与测试产品的销售与研发，拥有产品研发中心、研究院和生产工厂，技术力量雄厚。

产品简介
SI500D突出优点是采用平板三螺旋天线PTSA电感耦合等离子体ICP源和背部有氧气冷却系统的下电极，最大样片直径8吋。ICPECVD感应耦合等离子增强化学气相沉积系统SI500D满足高端工艺要求，适用于器材的生产和研发应用。SI500D在基于硅烷的沉积工艺中具有出色的性能。
SI500PPD是标准的PECVD系统，配置带干泵的预真空室，真空反应腔配置罗茨泵和涡轮分子泵。
Depolad200是经济型的PECVD系统，具有模块化设计、工艺灵活和操作简便的特点，样片直接放置。刻逐步进行真空系统、供气系统的升级，以满足更高的工艺要求。
型号
SI500D ICPECVD沉积系统 室温~350℃
SI500PPD PECVD沉积系统 带预真空室 200℃~350℃
Depolab200 PECVD沉积系统 不带预真空室 200℃~400℃
诺威特测控科技有限公司
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