EE-SPY801 欧姆龙传感器

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晶圆片托架落座传感器
EE-SPY801/802
薄片载体的落座检测
依靠与导槽并用，设定落座位置。
晶圆片托架的接触面使用了氟素树脂。防化学性能优越。
在独特的光学结构，几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用强抗外部干扰光的变调光方式。
电线使用净化电线(无粉尘)。
EE-SPY801
EE-SPY802
EE9-C01
EE9-C02
EE-SPY301
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EE-SPY401
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EE-SV3
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EE-SX1018
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EE-SX1055 S1
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EE-SX1063-P1
EE-SX1070
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EE-SX1071-RANKB
EE-SX1080
EE-SX1081
EE-SX1088
EE-SX1094(Q)
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EE-SX1137
EE-SX1140
EE-SX1235A-P1
EE-SX1235A-P1 S1
EE-SX1235A-P2
EE-SX1235A-P2 S2
EE-SX1235A-P2-S1
EE-SX129
EE-SX138
EE-SX153
EE-SX198
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EE-SX212
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EE-SX3009-P1
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EE-SX301
EE-SX3019-P2
EE-SX305
EE-SX3070
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EE-SX3088
EE-SX3239-P2
EE-SX329
EE-SX384
EE-SX398
EE-SX398 S1
EE-SX4009-P1
EE-SX4009-P10
EE-SX401
EE-SX4015A-P5
EE-SX4015-P3
EE-SX4015-P3-S30
EE-SX4015-P5
EE-SX4019-P2
EE-SX405
EE-SX4070
EE-SX4081
EE-SX4088
EE-SX4134
EE-SX4134-1
EE-SX416-P1
EE-SX4235A-P1
EE-SX4235A-P1-S1
EE-SX4235A-P2
EE-SX4235A-P2-S1
EE-SX4238-P2
EE-SX4238-P2 CHN
EE-SX4238-P4 CHN
EE-SX460-P1
EE-SX460-P12(Q)
EE-SX470
EE-SX470P
EE-SX471
EE-SX471P
EE-SX472
EE-SX472P
EE-SX473
EE-SX473P
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EE-SX474P
EE-SX484
EE-SX493
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EE-SX670
EE-SX670A
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EE-SX670-C1J-R 0.1M
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EE-SX670P-WR 1M
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EE-SX670-WR 1M
EE-SX671
EE-SX671A
EE-SX671-C1J-R 0.1M
EE-SX671P
EE-SX671P-C1J-R 0.1M
EE-SX671P-WR 1M
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