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位移传感器DIT5200拥有两个高精度电涡流探头,接入电桥平衡电路。是一款具有高分辨率、高灵敏度的电涡流位移传感器,被广泛使用于被测材料为铝、铜等导电材料;有单、双通道配置。
电涡流位移传感器应用领域:
应用于精密构件平衡、集成电路制造平台定位、磁悬浮轴承定位等高精度的测量领域。
电涡流位移传感器主要特点:
线性度:±0.1~1%;
量程:±0.25mm /±1.915mm;
频响: 0~22KHz;
埃米级分辨率;
高灵敏度,最高394mV/μm;