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全自动高温PSS设备(自动高温刻蚀机)
陶瓷远红外缘加热模组(可加热至600度);
环控流场式热酸气排放;
热酸排再放动制程10分钟完成;
自动化机械手臂全程监控,自动化程度高,操作便捷;
高产能,高效率;
该PSS设备为雷射正切之后,去除焦碳的必要制程设备;另可进行表面粗化及PSS工艺作业;
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