全自动槽式蚀刻薄化设备

全自动槽式蚀刻薄化设备
※ 本套设备位于TFT-LCD液晶处理厂房内（洁净室为千级室内放置型），其主要功能是通过化学方法即化学蚀刻，该方法蚀刻出来的玻璃基板能达到厚度均匀、表面效果良好的要求，并可以提高生产效率，更适合于量产。
※ 机械臂的横向移动和纵向提升均采用进口伺服马达，闭环控制，定位精度≤0.3mm，可靠性高；采用双导轨结构及线性模块传动，几何曲线加减速运动，冲击小、运动平稳。
※ 清洗能力：玻璃基板尺寸：≤730*920mm ;蚀刻前厚度尺寸：0.4-1.2mm ; 蚀刻后厚度尺寸：0.3-0.6mm ; 1篮/批，20 PCS/篮。
※ 整机主要由腐蚀清洗主体(槽体部分/管路部分等),抽风系统,电控单元及操作台等部分组成。
※ 正前方采用由PP 板框架和透明 PVC 板左右推拉门密闭结构观察窗组成；下部为工艺槽，后下方为管路区，相应位置配有磁吸活动门，方便对其内部各部件进行检查和维修。
※ 全程自动化控制（QDR模块），工艺过程中没有人工干预，保证产品性能的一致性。