高性能TA系列匀胶机Spin Coater旋转涂层机

发布日期 :2011-02-15 07:53 编号:639220 发布IP:123.185.70.183
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沈阳市司乐机器制造厂
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高性能TA系列匀胶机Spin Coater旋转涂层机
产品简介:
主要用于液体,胶体在材料表面形成薄膜。
适用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷,不锈钢,金属等制版表面涂覆工艺。
可在科研,教育,生产中应用。
沈阳市司乐机器制造厂 自主设计制造
产品型号: TA-280匀胶机 司乐机器 厂长推荐畅销产品 
TA-280匀胶机: 工作腔内径D290mm 适合直径D10mm-280mm园片及 200mmX200mm方形片。
衍生产品有:
TA-280D匀胶机;工作主机独立,控制器分置。
TA-280Q匀胶机;工作主机独立且可台面嵌入式安装,控制器分置。
TA-360匀胶机: 工作腔内径D370mm 适合直径D10mm-360mm园片及 254mmX254mm方形片。
衍生产品有:
TA-360D匀胶机;工作主机独立,控制器分置。
TA-360Q匀胶机;工作主机独立且台面嵌入式安装,控制器分置。
沈阳市司乐机器制造厂 自主设计制造
主要特点:
*高精度26程序控制器:
可设定存储26个不同样片的旋转涂敷工艺过程;
每个涂敷工艺过程可以设置51步不同的速度状态;
加速度(及负加速度),可设置。
中英文两套操作系统供选择。
操作系统内驻留涂敷工艺过程模板程序,方便快速调试并存储程序。
设置程序:通用符号,6键操作,人机交互式对话,提示操作。
无需培训,上手就会操作。
*可连接滴胶机,自动控制在必要的瞬间滴胶,自动控制重复定量滴胶。
精准的重复的自动控制操作,是人工不可能及的。
*工作腔可氮气保护。
我们设备通过有效的惰性气体保护机构设计,对所有的环境变量(温度,湿度,洁净度)有效控制,这一点完全针对科研实验的苛刻要求而开发。
*真空吸片,爪卡机构。2种工作状态随意选择。 爪卡机构工作状态无需真空泵。方便有空隙的材料及厚重材料涂胶。
*中心结构定位:圆形基片使用工具完成中心定位。方便快捷,定位精度高。主机标准配备一片真空吸盘即可满足(TA-280适用3英寸-11英寸基片);(TA-360适用3英寸-14英寸基片)。小于3英寸可使用定制真空吸盘。
*卡盘,吸盘品种丰富,适应各种需要。
*真空吸片系统更安全:
安装有真空度传感器,涂敷工作过程电脑实时检测系统真空度,必须在安全的真空度下,电机启动,运行。保障可靠吸片,不飞片。运行中失去真空,系统保护性停机。
*伺服电机,转速精度更高:300 - 10000 转/分,转速稳定性:+ - 0.1 %
最高转速10000转/分
*设备所用的天然聚丙烯(NPP)材质,食品级卫生材料,易清洁,材质性能稳定,绿色环保型实验室的选择。


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