多功能离子镀膜机

产品说明：

产品名称:多功能离子镀膜机

产品描述: ZHC系列中频磁控多弧离子镀膜机（PVD）是为适应客户需要镀制多种复杂膜系而设计的，适用于金属、陶瓷、玻璃、水晶等材质表面镀制各种颜色的纳米镀层。膜层品质出众，功能多样，广泛应用于手表、眼镜、手机、资讯产品、五金、玻璃、陶瓷、建材等行业表面镀制各种装饰膜。是镀制IP仿金、IPS、IPC、IP枪、IP黑、IP咖啡色、IP玫瑰、IP蓝、香槟金、干邑色等膜层的理想设备

产品详情说明:
主要特点：
1、沉积速率快，温升小，能较好抑制打火及靶中毒现象；
2、溅射释放的高能量使膜层密度和附着力有显著提高；
3、触摸屏+PLC,可实现全自动控制，自动/手动随时切换；
4、工件架采用公、自转结构，可设置自动正反转，产品均匀**好。
5、可有效避免反油现象，抽气速率快，噪声小，耗能低。
6、可根据客户要求配多套靶源

基本配置：
1、真空室立式单开门结构，304不锈钢制造，真空室内直径自Φ800mm-Φ1300mm；
2、真空系统由旋片泵、直联泵、罗茨泵和分子泵（或扩散泵）构成；
3、镀膜系统采用1-5台中频磁控溅射电源，配有1-5对非平衡磁控靶，并配有6-12个热阴极电弧；
4、脉冲偏压电源；
5、充气系统采用国产或进口气体质量流量计、气体流量控制（显示）仪；
6、电控系统设置电路过载、断水、断气声光报警装置；
7、控制系统（触摸屏+PLC）在自动运转时，实时显示详细参数，全自动控制整个生产过程，并自动存储工艺参数。

技术参数：
总重量 2500kg～3500kg
名义功率 120KW～150KW
抽速（空载） 8×10-3Pa≤15min
极限真空（空载） ≤8×10-4Pa
压升率（空载） 0.67Pa/小时
工件转速 0～5r/min
烘烤温度 室温～350度