隧道炉

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设备用途: 用于半导体器件烧结、焊接、烘干、管壳气密封装等。 链（带）式烧结炉特点 本设备为气氛保护炉，保护气氛为氢气、氮气、氩气等。 设备具有连续工作性，保证生产效率。 独特的气幕帘结合，确保炉膛与空气隔绝。 多温区控制炉温，方便调整工艺曲线。 链带速度无级连续可调。 根据用户要求可配加湿器链(带)式烧结炉主要技术指标 带宽 90～350mm 炉膛高度 100～200mm 炉膛宽度 100～370mm 冷却段长 1000～6000mm 温度范围 300～1050℃ 等温区长 600～1500mm 控制精度 ±2℃ 控制段数 4～10段 带速 20～500mm/min 升温时间 90～240min 升温功率 20～120KVA 保护气体 3～5路氮气0～100L/min 1路氢气0～80L/min