瑞士INFICON的MPG400冷阴极和皮拉尼复合真空计,反磁控管和皮拉尼真空计原理组合可测量从大气压到 5 x 10-9 毫巴的高真空压力。
MPG400冷阴极和皮拉尼复合真空计 的详细介绍
瑞士INFICON的MPG400冷阴极和皮拉尼复合真空计有MPG400和MPG402个型号,测量范围从 5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大气压)。将两种测量方式组合在一个具有对数模拟输出的小型单元内,***降低了安装,设置和集成的复杂性。
MPG400冷阴极和皮拉尼复合真空计益处:
■复合真空规—冷阴极与皮拉尼
■宽的压强测量范围从5X10-9毫巴至大气压
■无可烧毁的灯丝
■***的引燃功能
■易清洗
■FPM或金属密封的馈入件
■高压加上时LED指示灯亮
■对数模拟输出讯号
MPG400冷阴极和皮拉尼复合真空计典型应用:
■高真空压强监测
■蒸发和溅射系统的压强测量
■一般真空测量和控制,从中至高真空范围