TSTA75D

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固晶机上总共采用4套200W伺服（TSTA-15A搭配JSMA-SC02ABK）和2套100W伺服(JSMA-15A搭配JSMA-SC01ABK)，分别控制X,Y轴传动机构以及键合臂取晶动作。其中要求最高的为控制键合臂的100W伺服。
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伺服动作要求：
100W伺服电机通过同步带带动连杆快速正反转实现装有吸晶咀的键合臂做逆时针和顺时针方向位移，逆时针到位后吸晶咀吸取晶元然后顺时针固定晶圆。此动作要求：1.快速定位时，马达要平稳，不能抖动，否则吸晶和固晶的位置会不准确；2.客户要求每个动作周期尽量的快，由此对伺服的响应有较高要求。
通过伺服增益参数的调整，最终可以实现键合臂伺服在3msec内完成整定，整个固晶周期为245msec/颗，获得客户的认可。
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100W伺服参数设定
四、总结
固晶机作为一个新兴行业应用的代表，有着较高的技术门槛。东元伺服在固晶机的成功