(1)必须采用合理的“低速起动一无级提速—恒速加工—无级降速—低速停止”的抛光盘速度控制模式,避免加工 速度变化过大对工件造成冲击损伤,以获得完美的加工质量和1nm以下(最高可达0. 12nm)的表面粗糙度;
(2)必须实现汽缸压力的控制,以精密控制抛光加工过程,实现平稳、高精度、高效率的抛光加工;
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